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第13回 NIFS-PQPユニットセミナー「 半導体材料・デバイスにおけるマルチモーダル解析と今後の展望」
核融合科学研究所(NIFS)プラズマ量子プロセス(PQP)ユニットでは、ユニットの研究活動を広く発信していくために、セミナーを開催しております。近年、半導体デバイスの高機能化・高性能化への要求が高まり、それに伴い、インフォマティクス手法を活用した材料解析(計測)が求められています。本講演では、主に窒化ガリウム半導体を対象に、透過電子顕微鏡や3次元アトムプローブトモグラフィとのマルチモーダル解析事例および光物性評価事例について、お話しいただきます。
【実施要項】
題目:半導体材料・デバイスにおけるマルチモーダル解析と今後の展望
講師:冨⾕ 茂隆(奈良先端科学技術⼤学院⼤学)
日時:2024年6月27日(木)
13:00-14:15(ハイブリッド開催 *要登録)
会場:核融合科学研究所研究1期棟5階501号室
*参加者は、対面参加・オンライン参加に関わらず、下記URLから、Zoomシステムへの事前登録が必要です(セミナー開始直前まで登録可)
https://us06web.zoom.us/meeting/register/tZcpcuuprDMjGN1EFG8zc1bJYO2XQvEl3Nnu
【講師ウェブページ】
https://sites.google.com/view/naist-metrology-info/
【連絡先】
星健夫:hoshi.takeo(at)nifs.ac.jp
※(at) を@に直してください。